Fully automatic cluster system for a wide portfolio of applications. Can be equiped with different Modules like Coaters, Cleaners, Developers, Hot-, Cool- and Primer-plates.

Can Process Wafers up to 8" and Square Substrates up to 6"x6"

Maximus 804

  • Dies ist ein Kundenspezifisches Produkt bei dem eine sehr hohe Anzahl an Optionen zur Verfügungs steht. Bitte Kontaktieren Sie unseren Vertrieb für weitere Informationen und Unterstützung um ein auf Ihre Bedürfnisse angepasstes Produkt zu erhalten.